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従来のエリプソメトリーと比較して、イメージングエリプソメトリーの利点は？

  • イメージングエリプソメーターの位置分解能は最高1μm程度あり、従来のエリプソメーターの分解能を大きく上回ります。
  • 1度の測定で500,000点以上の２次元マップが測定されます。従来のエリプソメーターでは、面内の２次元マップを測定するために、サンプルをスキャンして移動する必要がありました。
  • Ellipsometric Contrast Microgrph（ECM）により、エリプソメトリー測定を行うことなく、膜厚や屈折率の定性的な変化を非常に高速に検出することが可能です。
  • ・『まず見つけて、次に測定』： イメージングエリプソメーターの画像ライブビューは、エリプソメトリー測定に先立ち、興味のあるサンプルスポットを特定するのに役立ちます。サブナノメートルの厚さの段差を含む、表面のわずかな変化も可視化可能です！このような特徴は、従来のエリプソメーターで使用されている「オーバービューカメラ」や「平行移動カメラ」では見ることができず、特定の測定位置を探すために時間のかかるスキャンに頼らざるを得ませんでした。
  • 特許取得済みのRegion of Interest（ROI）コンセプトにより、視野内で選択した領域でのデータのみを抜き取り、解析することが可能です。
  • 位置分解能は、光学的集光スポットのサイズに依存しないため、入射光に対して極度な集光を必要としません。

 

イメージングエリプソメトリーとは？イメージングエリプソメーターはどのようなものですか？

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