Accurion EP4

イメージングエリプソメーター

イメージングエリプソメーターEP4は、エリプソメトリーと顕微鏡を融合させた製品です。EP4は1 µm程度の微細な構造物に対して、エリプソメトリーの感度で薄膜の厚みや屈折率などの光学特性の評価を行うことが可能です。従来のエリプソメーターでは、一点ずつの測定を行う必要があり複数の領域の同時測定はできず、位置分解能はスポットサイズに依存していました。位置分解能を得ることはできませんでした。一方、EP4では顕微分解能を有するエリプソメトリー像を得ることが可能であり、視野内にあるすべての構造を顕微分解能で一度に測定することが可能です。また、1度の測定で、厚みと屈折率の分布の3Dマップを記録することも可能です。

EP4は、顕微鏡光学系と偏光光学系を用いることで、ellipsometric-enhanced contrastの可視化が可能であり、薄膜の屈折率や厚みのわずかな変化を、カメラのライブビューで確認することが可能です。これにより、エリプソメトリー測定の準備段階で、厚み（0.1nm～10μm）や屈折率の値を得たい範囲（regions of interest）を容易に特定することができます。

AFM、QCM-D、リフレクトメトリー、ラマンなどのオプションと組み合わせることで、他の測定技術との同領域測定が可能です。

さらに、特定のアクセサリーを組み合わせることによって、測定環境や温度変化を制御した測定を可能にします。

高機能なモデリングソフトウェア

モジュール化されたEP4ソフトウェアにより、装置の制御と同時にデータ解析が可能です。EP4 controlでは、測定装置の制御およびサンプル測定を行い、ライブビューで測定する領域を可視化、選択することが可能です。また、複数のサンプルを配置し、自動的に複数測定することも可能です。DataStudioは、測定されたデータを処理することができ、エリプソメトリー像のヒストグラム解析やラインプロファイルにより、サンプルの顕微分解能での詳細を把握することが可能です。EP4 Modelは、サンプルの光学モデルを直感的に作成することが可能です。シンプルなものから複雑な光学モデルまで、さまざまなサンプル構造の作成/解析が可能となっており、サンプル上の薄膜の厚みや屈折率に関する情報を得ることができます。さらに、混合材料層のバンドギャップや体積分率などの物理パラメータも得ることも可能です。

Key Features
Downloads

モジュール式セットアップ： BAM、単波長、多波長、分光エリプソメーターなど、さまざまな構成にアップグレード可能。
190/250/360 nmから1000/1700/2700 nmまでの波長範囲での分光イメージングエリプソメトリーが可能。
面内方向のエリプソメトリー位置分解能は最高1μmで、微細構造を持つ薄膜の厚みと屈折率を測定。
Ellipsometric enhanced contrast imagesによるサンプルの顕微像をライブでの可視化。
ライブビューで領域を可視化し、直感的に測定領域を選択可能。
視野内の複数の領域を同時に選択、測定可能。
裏面反射を非破壊で抑制するknife-edge illumination（特許取得）
セル、温度制御、流量制御装置などの追加アクセサリーを使用することで、測定の可能性を広げることが可能。
品質管理：製造ラインでの品質管理のためのOEM版も提供可能。

イメージングエリプソメトリー（IE）

Accurionのイメージングエリプソメーターは、エリプソメトリーと光学顕微鏡を1つに統合した製品です。この2つの技術の統合により、エリプソメトリー測定と偏光コントラスト顕微鏡の両方の利点を兼ねそろえた測定装置となっています。イメージングエリプソメーターの高い空間分解能（約1μm）は、微細構造解析、マイクロエレクトロニクス、バイオ分析の新しい分野での測定を可能にします。

イメージングエリプソメトリーの概要

イメージングエリプソメトリーは、微細構造を持つ基板や薄膜サンプルの膜厚や材料の特性評価を得意とする、光学測定のみの完全非接触計測技術です。
この技術は、顕微鏡イメージングと分光エリプソメトリーの測定原理を組み合わせたものです。位置分解能は約1μmで、通常のエリプソメーターやリフレクトメトリーなど、他の光学計測機器の位置精度の限界を容易に超えることができます。
測定は、偏光した光と試料の相互作用に基づいています。光学モデルの理論計算により、測定された偏光特性は、層厚、屈折率、吸収、粗さ、異方性など、試料の物理的特性に変換されます。