分光イメージングエリプソメトリーは、試料のエリプソメトリー特性をプローブ波長（または光子エネルギー）の関数として測定します。これにより、ハイパースペクトルΔおよびΨマップでは、すべての画素毎に測定されたΔおよびΨスペクトルを含みます（図1）。分光測定は、薄膜サンプルの高精度な特性評価を実現する最も汎用性の高いアプローチのひとつです（Fig.2）。そのため、この20年間、分光測定はイメージング・エリプソメトリーにおける標準的な測定法となっており、当社のイメージングエリプソメーターの大部分は、分光測定機能を備えています。
 

デジタルカメラ技術の進歩や広帯域光学部品のカスタム設計により、Accurionでは紫外（UV）、可視（VIS）、赤外（IR）部分のさまざまなスペクトル範囲に対応した分光イメージングエリプソメーターを提供しています。広帯域測定用のハイエンドなイメージング・エリプソメーターでは紫外から赤外までのスペクトル全範囲をカバーするために、最大3種類のカメラを装備することが可能です。